細節(jié)：
     

◇  MDPmap被設計成一個緊湊的臺式非接觸電學表征工具，用于離線生產控制或研發(fā)，在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵（μ-PCD）下，在一個寬的注入范圍內測量參數(shù)，如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數(shù)設置允許輕松適應各種不同的樣品，包括外延層和經過不同制備階段的晶圓，從原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。        

◇  MDPmap的主要優(yōu)點是它的高度靈活性，例如，它允許集成多達四個激光器，用于測量從較低到高的注入水平的壽命，或通過使用不同的激光波長提取深度信息。包括偏置光設施，以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件的選項。可以用不同的地圖進行客戶定義的計算，也可以輸出主要數(shù)據進行進一步評估。對于標準的計量任務，預定義的標準只需按下一個按鈕就能進行常規(guī)測量。            

附加選項：        

◇  光斑大小的變化      

◇  電阻率測量（晶圓）        

◇  方塊電阻        

◇  背景/偏光        

◇  反射測量（MDP）        

◇  太陽能電池的LBIC（擴散長度測量）        

◇  偏壓MDP        

◇  參考晶圓        

◇  硅的內部/外部鐵制圖        

◇  集成加熱臺        

◇  靈活的激光器配置